臭氧的產生有兩種方法，一是採用波長 185nm 的紫外線與空氣中的氧氣產生作用而生成臭氧；另一種則是利用高壓放電對空氣中的氧氣作用產生臭氧。

利用 185nm 波長的紫外線 [1] 照射空氣中的氧氣，空氣中的氧氣分子（ O₂ ）首先會分離成單一的氧原子（或稱初生態氧 —Initial Oxygen ），初生態氧是一種極不穩定的氣體原子，只要有機會就會設法讓自己趨於穩定的狀態，這個特性，促使它很容易去抓取空氣中的氧分子（ O₂ ）而重新結合成為有含三個氧原子的臭氧（臭氧）分子。

地球臭氧層的形成就是由於太陽的光輻射中大量而強烈的波長 185nm 紫外線照射到大氣層，使大氣層中的氧氣轉變成臭氧。

另外，當空氣流經高壓電流，亦會使其中的氧分子分離成初生態氧，再尋得氧分子重新組構聚合成三個氧原子的臭氧，在自然界中的閃電現象也會有相同的機轉而產生大量的臭氧。用來將氧分子分離成初生態氧的「高壓放電管」是用一層絕緣體（如陶瓷）包住不透鋼管，再一起套入石英管中，由於石英管與陶瓷絕緣層間留有空隙，氧氣或空氣流過該空隙，並且在不銹鋼管與石英管間加上高電壓，電流通過空隙放電，而完成產生臭氧的機轉。

[1] 紫外線臭氧產生器（ 185nm 波長紫外線能產臭氧）和殺菌的紫外線燈管結構完全相同一樣，只是用來作為殺菌燈的石英管燈管中加入某些雜質，讓燈管能吸收掉 185nm 波長的紫外線，只讓殺菌力特強的 254nm 波長紫外線通過。