| 「Brooks Direct Liquid Injection System」為直接液體注入蒸發系統,適用於光電半導體等領域。宇泰/提供 |
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【新竹訊】美商布魯克斯儀器公司(Brooks Instrument)生產的流量控制器系列產品,大量用在光電、半導體產業製程上,多年來已建立優異口碑。該公司在大陸、新加坡及韓國均設有分公司,台灣則由宇泰科技代理,以提供客戶完善的在地化服務。
為因應高科技製程對流量控制的精準度要求嚴格,宇泰採用Brooks一級校正系統定時調校,全程遵循國際標準的NIST認證的無塵室製造,以滿足客戶嚴苛製程要求,Brooks產品為宇泰重要品項之一,MFC/MFM、克里奧斯液體偵測/控制器、Rotameter等,應用於光電半導體領域精確的氣液體流量控制,在太陽能、石化、鋼鐵、食品、塑膠及生技等領域廣泛被使用,其他來自代理韓國EN Technology的DC、DC Pulse、常壓用之脈衝電源及UniRF Tech公司的RF Generator,則是用在光電半導體、PCB市場電源供應器及矽太陽電池廠量身製造矽晶片載盤Tray Carry的自有產品(PECVD for Cell line),前者裝設在濺鍍機上,大量運用在薄膜太陽能及抗電磁波產業,能確保鍍層精確的膜厚,後者則採用碳纖維及石墨為原料,透過宇泰自行生產,確保品質與良率,在台市占達七成以上。(曹佳榮)
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