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半導體製程名詞縮寫
2009/03/14 10:15:59瀏覽6977|回應0|推薦1

被朋友拉來開了這個部落格,一直在思索可以擺些甚麼供大家參考;既然在半導體這一行作,就還是說一些自己比較熟悉的東西吧!因為是work in progress,還請大家多多忍耐。

AA Active Area

ISSG In Situ Steam Generation

RIE Reactive Ion Etching

ARC Anti-Reflective Coating

CMP Chemical Mechanical Polish

STI Shallow Trench Isolation

BSG Boro-Silicate-Glass

HTO High Temperature Oxide

RTCVD Papid Thermal Chemical Vapor Deposition

HDP High-Density Plasma

RTN Rapid Thermal Nitridation

TEOS TetraEthyl OrthoSilicate

ONO Oxide-Nitride-Oxide (SiO2-Si3N4-SiO2)

LDD Lightly-Doped-Drain

SAE Selective Area Epitaxy

PMD Pre-Metal Dielectric

IMD Inter-Metal Dielectric

OPC Optical Proximity Correction

( 知識學習科學百科 )
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