2009.09.11 9 無塵室空間規畫－－府視圖 2.無塵室設計考量 1. 人員動線 2. 儀器設備位置與移機動線 微修區 黃光工程區 薄膜工程區 乾蝕刻製程區 機台移入/出平區 參 觀 走 道 ／ 緊 急 出 口 走 道 機具設備拆解／組合 ／清拭區

國立中央大學 土木工程研究所 碩士論文 高科技廠房在工期限制下最佳化排程之研究 -以中華映管無塵室工程為例 研究生：戴勝鵬 指導教授：顏上堯 博士 中華民國九十五年六月三十日 PDF 檔案以 "PDF 製作工廠" 試用版建立 http://www.fineprint.com

無塵室空調 台灣區冷凍空調工程工業同業公會 工程技術暨業務發展委員會編輯 冷凍空調工程實務-10 大綱 無塵室(潔淨室)定義 無塵室分類 無塵室換氣次數 無塵室等級測試點數 濾網過濾效率 無塵室室內正壓之維持

目錄 無塵室系統架構說明 無塵室管理說明 無塵室空調設備保養說明 Q&A 誠信、專業、負責 昊德工程有限公司 2 ... 無塵室系統架構說明 一、何謂無塵室 二、無塵室驗收標準 三、無塵室須具備之因素 四、HEPA系統架構說明

二、無塵室 氣流方式之比較： 垂直層流方式 水平層流方式 非層流方式 ... 三、工程 實例： ...

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微機電無塵室新建工程省思 郭中權, 胡石政 國立台北科技大學 前言 無塵室的建造型態除了依不同的產業類別所生產個別產品而衍生之差異化外，對 於在不同的主建物架構下建造無塵室更存在著更多客觀條件的限制，尤其在一個舊有

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