Author: 蔡宗霖, Title: 光譜式橢圓儀實習, Category: 課堂報告, Academic Year: 1021, Department: 機械工程系, ViewId: 195654 ... 標題： 光譜式橢圓儀實習 作者： 蔡宗霖,楊傑..等 上傳單位： 機械工程系 上傳時間： 2013-12-30 上傳者： 蔡宗霖

SpecEL-2000為一種光譜式橢圓儀，其能在寬廣的光譜波長上量測到不同的偏光度對反射光強度關係。 光譜式橢圓儀不需要參考片或參考光束。 可同時量測三層以上之膜厚。 光點大小：2mm x 4mm （可擴充至200μm x 400μm）

橢圓儀介紹M-2000光譜式橢圓儀(橢圓偏光儀應用)為JAW所開發用來量測多變化複雜膜層的橢圓儀,其具有高擴充性、寬光譜範圍、數據快速取得等特點,使其成為非常有用且多變化的 ...

... 偏振技術可得到膜厚比探測光本身波長更短的薄膜資訊，小至一個單原子層，甚至更小。橢圓儀 ... 在於薄膜沈積及改質等製程式控制制，已漸變為相當重要的工具。此技術可用單一波長或光譜式 ...

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光譜式橢圓儀能在寬廣的光譜波長上量測到不同的偏光度對反射光強度關係。 光譜式橢圓儀不需要參考片或參考光束。 可同時量測三層以上之膜厚。 光點大小：2mm x 4mm （可擴充至200μm x 400μm） 搭配XY自動平台150mm或300mm ，可進行全平面膜厚 ...

薄膜檢測技術 實驗題目: 光譜式橢圓儀實習 指導老師:林克默 組員: 奈米四乙 徐維澤 (學號49914906) 奈米四甲李奇修 (學號49914030)

Spectroscopic Ellipsometer System / 光譜式橢圓儀 [Mikropack, SpecEL-2000-VIS-NIR] 技術人員 張家賢 先生 (05)2720411 轉 61413 E-mail : s6262223@hotmail.com 指導教授 周禮君 博士 (05)2720411 轉 66411 E-mail : chelkc@ccu.edu.tw 儀器概述 SpecEL ...

國立高雄應用科技大學 化學工程與材料工程系 的網站 ... 時間 9/7（星期二）上午10點30分 熱傳導儀+光譜式橢圓儀原理與應用 地點-司令台研二 教完為止 9/7（星期二）下午2點00分