設備功能：晶圓切削液資源化並回收
設備簡介：
污泥主要為晶圓線切割機切割晶圓,
產生之細粉(主要成份矽),
內含水溶性切削油及切削粉(碳化矽),
目前大部份的處理方式,將其視為廢棄物處理用。
本設備能將此廢棄物資源化產生經濟效應。
國內已有實績廠商，含有成功操作經驗。
名稱：佳耘工業有限公司
電話：(02)2958-3680
傳真：(02)2958-0195
信箱：bufilter@ms26.hinet.net
相關設備：
01、壓濾機濾板
02、脫水設備
03、固液分離
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| 項次 | 名稱 | 簡述 |
| 1 | 集塵布管 | 集塵袋、收塵袋製作 |
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