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世界上世界第一個300毫米(12英寸)直徑的矽氮化鋁模板(AlN-on-silicon)
2011/02/27 11:32:04瀏覽415|回應0|推薦1
Kyma公佈,Kyma成功開發大量生產AlN模板製造設備,並生產 世界上第一個300毫米(12英寸)直徑的矽氮化鋁模板(AlN-on-silicon)。 

主要用途是: 直接用到現有的LED和高功率器件生產過程,成長氮化鎵及其相關合金,如氮化銦鎵和AlGaN。
 
總工程師Dr Bob Metzger說,新型AlN模板生產設備結合並改進 Kyma的專利和NanoColum(PVDNC)技術 的特點 。
 
預計,
在未來數星期, Kyma 公司能夠提供大直徑藍寶石氮化鋁模板,並用新的AlN模板製造設備大量生產藍寶石氮化鋁模板。
( 知識學習|科學百科 )
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