指尖大小的投影機納入視野

此次新試製的高密度型LED顯示器將LED元件減小到了僅20μm見方，而且配置間距由原來的600μm縮短到了42.3μm。目前只使用了紅色LED元件，如果把在此基礎上增加藍色及綠色LED元件、並呈二維陣列狀配置的產品用作光源的話，“還能製作出指尖大小的投影機”。理想的情況是：在該光源上“只需追加成像光學系統即可顯示影像”（該公司）。如果開發出超小型投影機，還有望配備在手機和筆記本電腦上。

要想實現這一目標，就需要開發從底板上安全可靠地剝離綠色LED及藍色LED的技術。EBF技術通過在底板和外延層之間設計“犧牲層”，實現了底板和外延層的輕鬆剝離。該犧牲層會影響剝離效果。剝離時，在對犧牲層進行濕蝕刻的同時，將外延層附到支撐體上從底板剝離。用蝕刻液蝕刻後，犧牲層會輕鬆溶解掉。

目前已達到實用水準的是將紅外及紅色LED元件從底板剝離的技術。在紅色LED方面，如果列印頭使用近紅外LED的話，就在GaAs底板上外延生長AlGaAs薄膜，如果是顯示器用紅色LED，則外延生長InGaAlP類薄膜。另一方面，藍色LED及綠色LED則採用與紅色LED不同的材料。藍色及綠色LED元件大多是在藍寶石底板上外延生長GaN係半導體。因此要從底板上安全可靠地剝離具有藍色LED元件及綠色LED元件結構的外延層，就需要改變犧牲層。

關於尺寸加大的LED顯示器，元件的配置數量由原來的24×24個增加到了24×96個。LED元件的尺寸為300μm見方，配置間距與原來相同，均為600μm。通過以24個為一排並依次驅動LED，可使文字實現滾動顯示。功耗為0.2W。亮度為300cd/m²以下。此次發佈的兩種顯示器均接合了厚2μm的外延層和厚1mm的玻璃底板。（記者：根津 禎）