微機電系統
微機電系統的全名為micro-electro-mechanical system，簡稱MEMS，在歐洲則稱為微系統科技（micro-system-technology），簡稱MST。
微機電系統技術可用來製造低成本的感測器及致動器，目前應用微機電系統技術製作的產品有
壓力計、生化感測器、加速計、噴墨印表機的噴頭，以及特殊的拋棄式的醫療用品等。本技術除了可應用在多方面之外，也關係到未來關鍵工業的發展，例如國防科技及生物科技等。
微機電系統
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微機電系統，是在1980年後新成立的研究領域，但在歐洲「微機電系統」被稱為「微系統技術」。
微機電系統簡稱為MEMS，是指利用「半導體製程」製作出來各種微型機電整合系統。微機電系統的應用範圍很廣，包含了控制電路、微感測器與微驅動器等，其應用的技術涵蓋了工程、科學和醫學領域。微機電技術是在1960年代開始萌芽，到了1990年代初期，已廣泛受到歐、美、日等先進國家的關注。
微機電系統技術有下列幾項優點：
1、縮小成品尺寸且提高精密度。
2、可整合機械結構和電子線路。
3、可大量製造並能維持均一品質，達到降低成本。 由於技術逐漸成熟，應用範圍也開始擴大，研究人員已經把目標訂在發展出一個完整的微型系統，例如微型硬碟機及微型機器人。
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微機電系統的應用
此外，微機械製造技術還可以生產直徑如頭髮大小的奈米分子馬達，奈米分子馬達並不需要電能，如以DNA分子馬達為例，它可以直接將生物體中的生物化學能轉換為機械動能。未來、分子馬達將可以進入人體中，直接修復生病的器官、清除血管中的阻塞物、消滅癌細胞、更換缺陷的基因等等。
微型機器人的發展是建立在大型積體電路的製造技術基礎上，其作業能力達到分子、原子的層次，可用於精密製造業的加工、農業、通信、醫療、航太等各領域。它能到達人類無法到達的任何地方，從事各種精密作業。
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其他控制儀器-風速計
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