真空泵(即真空幫浦)的作用是將一空間中的氣體排出製造真空狀態的機器
它被大量運用醫療、化工、加工、機械...等產業上
究竟這樣被經常使用的機器，它所運作的原理為何?
真空泵的原理
真空泵基本上可以分爲兩種類型：氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。
氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的内表面上，從而減小了容器内的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。
真空在進行抽氣的過程中，通常會經歷以下的階段:
大氣抽至中真空範圍，壓力隨時間之變化為自然對數的衰減，抽氣過程是非常的快速，時間極短。
而當從中度真空進入高真空範圍時，表面吸附性氣體的退吸決定壓力。
最後在高真空範圍時，表面吸附的氣體分子漸被抽盡 。
真空的分類
依照抽氣方式不同，真空幫浦可歸類為以下幾個分類：
排氣式
- 正位移式幫浦（positive displacement type）
- 往復式幫浦
- 迴轉式幫浦(rotary pump and scroll pump)
- 動能式幫浦（kinetic energy type）
- 機械動能傳遞式(turbo-molecular pump)
- 流體（蒸氣）動能傳遞式(diffusion pump)
貯氣式
- 吸附式幫浦（surface adsorption type pump）
- 吸附幫浦（sorption pump）
- 結拖幫浦（getter pump）
- 冷凍幫浦（cryogenic pump，簡稱cryo pump）
- 離子幫浦（ion pump)
選擇真空泵需瞭解的規格
- 抽氣速率：即真空幫浦進行抽氣時的速率大小
- 氣體選擇性：與幫浦操作原理相關
- 終極壓力(Ultimate Pressure)：
即幫浦能抽到的最低壓力，通常幫浦本身的結構及密閉性會影響到該設備的終極壓力為何
- 排氣口的壓力
- 幫浦清潔度
中文百科在線－真空泵
www.phys.nthu.edu.tw/~thschang/notes/VAC03.pdf
electrical.csu.edu.tw/Material/EE4Y/458471/真空-第四章講義.ppt
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